真空热处理是真空技能与热处理相结合的归纳技能，是指热处理过程的全部和部分在真空条件下进行。几乎所有的热处理工艺都可以在真空热处理中完成，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化等，在淬火热处理相比，它具有以下优点。

1.不氧化、不脱碳、不增碳对工件内外有很好的维护作用。氧化使金属表面失去光泽，增加表面粗糙度，降低精度。而且钢表面的氧化皮往往是淬火软点和淬火开裂的原因，氧化降低了钢件的强度和其他力学性能。脱碳是指钢加热时表面碳含量下降的现象。一般情况下，钢的氧化脱碳同时进行。由于脱碳层的氧化，碳含量的降低会显著降低钢的淬火硬度、耐磨性和疲劳性，高速钢的脱碳会降低红硬度。真空热处理由于金属在一定真空度下加热，工件避免接触氧气，工件不氧化，不脱碳，可以获得明亮的外观和良好的热处理质量。同时，在真空条件下，不会产生恢复反应，也不会产生增碳现象。

2.提高所有机械性能，脱气，促进金属外观的净化。真空对液态金属有显著的除气效果，对固态金属中溶解的气体也有很好的除气效果。氢是金属中的有害气体。当采用真空加热时，金属和合金中的氢敏度可以降低到较低水平，消除氢脆，进而提高数据的塑性、韧性和疲劳强度，提高工件的整体力学性能。当金属和合金在真空中加热时，如果真空度低于相应氧化物的分化压力，氧化物就会分化，形成的游离氧会立即排出真空室，从而进一步提高金属的外观质量，甚至使外观达到活化状态，达到净化效果。

3.工件变形小。一般来说，处理后的工件在炉内通过热辐射加热，内外温差小，热应力小，这就决定了真空热处理工艺处理后的零件变形小。同时，在真空下加热，在真空下淬火，自动完成，避免了工件在热态下的空气搬运，减少了人工加工变形，提高了产品合格率。

4.可以降低工件含金量的挥发性。真空热处理可以在可控气氛中加热和真空淬火，然后降低工件含金量的挥发性，保证工件的热处理质量。

5.真空热处理炉热效率高，能快速升温降温，稳定性和重复性好。良好的工作环境，安全的操作，无污染和公害。