（1）真空热处理节能，经济性好。真空热处理与常压热处理相比可以节约能源，因为真空热处理炉具有良好的保温效果，热损失较少，降低能耗。许多真空热处理设备（如真空电阻炉）可用于各种真空热处理，如真空退火、真空淬火、真空渗碳、真空钎焊、真空及时性等。真空热处理炉可完成机械化、自动化，节省人力和时间，然后降低产品成本。

（2）真空热处理可以完成环境保护。与常压热处理相比，真空热处理在封闭环境中处理，环境清洁，废弃物排放少，环境污染少。真空热处理炉外壳水冷，无热影响，安全可靠。

（3）真空热处理操作简单，提高了生产能力。与常压热处理相比，真空热处理对工人的操作要求简单，过失不简单，质量保证简单。真空热处理后的机械部件可直接用于电镀，无需除油、清洗或其他外观加工，消除了许多辅助加工过程，节省了加工时间和加工成本，降低了生产成本。

（4）真空热处理机械零件质量好，机械性能提高，可延长使用寿命。真空淬火可以将任何油淬火和气淬火数据淬火到高硬度；用真空热处理代替盐浴的高速钢可以起到很好的作用，如增加工具的使用寿命，工具不会出现渗碳、脱碳、氧化、氢脆等问题；真空热处理的机械零件变形小，不易开裂。例如，高速钢燕尾铣刀的真空加热，然后真空淬火不会开裂。零件采用真空油淬火，变形量仅为一般油淬火的1/10，真空热处理后不能进行2~3倍。

此外，模具的使用寿命可以延长40%~400%，东西的使用寿命可以延长。

（5）真空热处理零件变形小。热处理过程中工件变形的原因:一是工件在热处理过程中产生相变应力；二是工件在加热冷却过程中各部分温度变化速度不同，导致热应力。真空热处理炉温度均匀，在真空条件下加热。换热方法主要是热辐射而不是对流加热，所以加热温度均匀，1200℃温差只有±5℃；真空热处理炉自动化程度高，炉内温度控制简单，炉内温度分布均匀，工件表内温差小，工件变形量小。

（6）易于完成设备自动化，提高设备自动化程度，确保工件热处理质量的良好重复性。由于真空热处理过程所需的操作参数（如温度、压力、流量、时间、逻辑顺序等）可以被现代传感器接受和传输，所有定量的工艺道路都可以预编和执行程序。当时设计的真空热处理炉都采用了计算机程序控制、调节和显示技能，完成了真空热处理设备的操作自动化，工艺流程正确，设备运行重复性好，人机对话和实时监控灵活性好，确保了热处理产品质量的均匀性。