在淬火过程中，冷却是实现热处理目的的一个重要过程。为了保持真空热处理过程中工件的优良特性，冷却液的选择、配方和冷却过程非常重要。真空热处理单元一般采用油冷、风冷。

油冷却是一种具有成本效益的冷却方法。在真空条件下，冷却油的冷却能力低于正常的大气压，主要是由于工件表面蒸汽膜的增厚，影响了冷却油的冷却能力。真空淬火油的冷却强度远低于普通淬火油。此外，淬火油的冷却强度可以通过清洗气体来调节油表面的气压。在保证工件硬化的前提下，应尽可能降低冷却速度，以降低工件的应力和变形。

气体冷却可以更好地保持真空加热工件的良好表面状态，减少真空热处理设备中冷却液（真空淬火油）的空间，简化真空淬火工艺。真空淬火主要考虑其冷却速度，与气体类型、气体压力、气体流量和加热设备结构有关。