精密复杂模具变形的原因往往很复杂，但只要我们掌握其变形规律，分析其原因，就可以减少和控制不同的方法来防止模具变形。一般来说，高频热处理可以采用以下方法来防止精密复杂模具的热处理变形。

(1)材料的合理选择。精密复杂模具应选用材料好的微变形模具钢（如空淬钢），碳化物偏析严重的模具钢应合理锻造，调节质量和热处理，大、不能锻造的模具钢可固体溶解和双细化热处理。

(2)模具结构设计要合理，厚度不要太大，形状要对称。对于变形较大的模具，要掌握变形规律，保留加工余量。对于大型、精密、复杂的模具，可以采用组合结构。

(3)精密复杂模具应提前热处理，以消除加工过程中产生的残余应力。

(4)合理选择加热温度，控制加热速度。对于精密复杂的模具，可采用缓慢加热、预热等均衡加热的方法，减少模具的热处理变形。

(5)在保证模具硬度的前提下，尽量采用预冷、分级冷却淬火或温淬火工艺。

(6)对于精密复杂模具，在条件允许的情况下，尽量采用真空加热淬火和淬火后的深冷处理。

(7)一些精密复杂的模具可以通过预热处理、及时热处理和氮化热处理来控制模具的精度。

(8)修复模具砂眼、气孔、磨损等缺陷时，选用冷焊机等热影响小的修复设备，避免修复过程中变形。

此外，正确的高频热处理工艺操作（如堵孔、绑孔、机械固定、适当的加热方法、正确选择模具的冷却方向、冷却介质中的运动方向等），合理的回火热处理工艺也是减少精密复杂模具变形的有效措施。