利用真空状态下金属的变相特性，在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学和动力学不会发生任何变化。在制定真空热处理工艺规程时，根据常压下固态相变的原理，可以充分参考常压下各种类型组织变化的数据。一起在真空脱气的作用下，可以提高金属材料的物理力学性能，在真空状态下加热时，金属工件的外表元素会发生蒸腾现象。金属完成无氧化加热所需的真空度、外观净化效果，完成少无氧化和少无脱。