真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的一种新型热处理技术。真空热处理所处的真空环境是指低于大气压的气氛环境，包括低真空、中真空、高真空和超高真空。真空热处理实际上属于气氛控制热处理。真空热处理是指热处理过程的全部和部分在真空状态下进行。真空热处理可以实现几乎所有常规热处理都可以涉及的热处理过程，但热处理质量大大提高。与常规热处理相比，真空热处理可以实现无氧化、无脱碳、无渗碳，去除工件表面的磷屑，起到脱脂除气的作用，从而达到表面光亮净化的效果。