零件经真空热处理后，畸变小，质量高，工艺本身操作灵活，无污染。因此，真空热处理不仅是一些特殊合金热处理的必要手段，也应用于一般工程钢的热处理，特别是工具、模具和精密耦合，真空热处理后的使用寿命比一般热处理大大提高。例如，一些模具经过真空热处理后，其使用寿命比原盐浴处理高40~400%，许多工具的使用寿命可提高3~4倍左右。此外，真空加热炉可以在高温下工作，工件可以保持表面清洁，从而加速化学热处理的吸附和反应过程。因此，一些化学热处理，如渗碳、氮、铬、硼，可以得到更快、更好的效果。