真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。

真空热处理技术应用和发展得到进一步的完善和推广，它具有无氧化、无脱碳、淬火后工件表面清洁光亮、耐磨性高、无污染、自动化程度高等特点。工业生产中广泛采用了真空退火、真空除气、真空油淬、真空水淬、真空气淬、真空回火及真空渗碳等热处理技术。近年来，随着高压气淬真空炉的面世，高速钢刀具的真空淬火已成为现实。真空炉制造厂家众多，国内或合资的如易普森公司、法国的ECM工业炉公司、G-M公司等。国内厂家知名品牌也不少，像中国航天航空集团“长城”系列、北京机电研究所WZ系列真空炉等等，其技术水平、性能、价格在国内具有极强的竞争优势，真空热处理将成为热处理车间最普及的最主要的技术之一。